走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いて局所照射した水蒸気添加の大気圧プラズマジェットによるポリマー表面の微細加工

摘要

APPJ を用いた除去加工は，プラズマによって生成される活性種を用いた化学反応が支配的な反応である．本研究室では原料ガスに微量の酸素ガスを添加することで，原料ガスのみで生成された APPJ では加工が困難であったアクリル樹脂膜に対して除去加工を実現した．しかし一般的に，活性酸素種において更に反応性が高いものはヒドロキシルラジカルであることが知られている.そこで本発表では，水蒸気を添加した He ガスを原料ガスとするAPPJ を用いて，その加工効率のさらなる向上を目指したため，その結果について報告する．