シリコンの異方性エッチングを用いた細胞破砕デバイスの作製

摘要

現在，DNA 解析等の細胞内容物の分析のために，分析対象である細胞の破砕及び，内容物の抽出が行われている．従来手法として，物理的手法，化学的手法，電気的手法などが存在するが，それぞれ処理量が多い，細胞変質を起こす，処理装置が大型であるといった問題点がある．また，近年MEMS 技術による微小流路を利用した細胞破砕デバイスの研究，開発がなされている．これにより小型化，簡便化が進み，微小試料や単一細胞の解析やヒューマンエラーの軽減につながる．そこで本研究では細胞破砕手法の中で細胞変質の小さい物理的手法に着目したデバイスを提案する．本デバイスはシリコンの異方性ウェットエッチングにより側壁形状が幾何的に整った流路及び狭隘部を作製し，その狭隘部による細胞破砕を考える．今回はデバイスの作製及び細胞破砕の可能性を示した．