冷凍ピンチャックにおける冷凍液の最適塗布法

摘要

液晶テレビやコンピュータディスプレイは大型化が進み，2.88×3.13mのマザーガラスも使用されている．このマザーガラスに微細パターンを転写するためのマスク基板も大型化し，1.6×1.8m×t17mmの石英基板が使用されている．現状の石英基板は，数10μm～100μmの大きな反りを有し，これらは微細パターン転写に悪影響を及ぼす．このため反りと平坦度を含めて10μm以下に向上させることが求められている．マスク基板は，現在，水貼り法により緩く拘束して軟らかいパッドで片面研磨されている．そのため，高い平坦度に研磨することは難しく，とくに反りを除去することは短時間の研磨では不可能に近い．本研究では，ピン上に冷凍液を塗布し凝固させ，反りを残した状態で石英基板を保持する冷凍ピンチャックを開発し，反りの無い高平坦基板を創成することを目指している．これまでに，研磨用冷凍ピンチャックについて，冷却能力と基板保持時の形状変化およびピン間冷却水の特性について明らかにした．本報告では，基板を保持する冷凍液のピン上への塗布法およびピン上の液滴測定法を確立するとともに，塗布パラメータが塗布特性に及ぼす影響を解明し，その最適化を行った結果について明らかにする．