ステンレス基板への超短パルスレーザ照射によるフッ素コーティング被覆率の向上

摘要

水や油，塗料や薬液などの微小液滴の付着や移動を制御することは，産業·医療機器において防汚，潤滑，伝熱機能などの高性能化の観点から重要な解決課題である．液滴の挙動は材料表面の濡れ性の違いにより変化させることが可能であり，特に撥液性表面は多くの分野で利用されている．濡れ性は表面エネルギの影響を受けることが知られている．また，見かけの表面積に対する実際の表面積の倍率（以下，表面積倍率）が増加すると，濡れ性を強調させることができる．表面エネルギが小さいと撥液性が高くなるため，しばしば材料表面へフッ素コーティングが施される．通常，材料表面の清浄度が低いとコーティングの被覆率が低下するため，コーティングの前処理として，脱脂洗浄後，プラズマ照射や UV オゾン洗浄などが行われている．