工作機械における左右ボールねじ機構の制振効果とマイクロドリル加工動作への適用

摘要

近年，ITの発展により電子機器の軽薄短小化，多機能化が進められ，その主要部品であるプリント基板の小型化，回路の高密度化が要求されている．その実現のため，精度上昇やドリルの折損，熱損傷などの問題解決に有効なステップ動作を用いた加工法を提案している．そこで微小区間での高速運動で発生する振動に対応するため，著者らはカウンタバランス制振機構を搭載した工作機械を開発している．本報ではその機構の振動特性を考察し，有用性の検証と適切な加工条件の探索を行った．