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自律的欠陥探索·分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第2報）FDTDシミュレーションに基づいた光学的検出特性解析

机译：基于FDTD仿真的自主缺陷搜索和差分多瓣（第2部分）光学检测特征分析研究纳米修复检测研究

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本研究では揮発性不活性液体をプローブとして用い，異物との相互作用を光学的に観察することによって異物を検出する，新しい原理に基づいた光学的ナノ異物検出法を提案している．本報では，数値シミュレーションによる提案手法の光学的検出特性の理論的解析を行った．

机译：在这项研究中，我们提出了一种基于新原理的光学纳米物体检测方法，该方法使用挥发性惰性液作为探针，并光学观察与异物相互作用。在本报告中，进行了通过数值模拟的提出方法的光学检测特性的理论分析。

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来源
《精密工学会大会学術講演会》|2016年||共2页
会议地点
作者
橘一輝; 浅井祥平; 道畑正岐; 高増潔; 高橋哲;
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中图分类 TG5-53;
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