産業用光干渉計測技術開発の20年を振り返って

摘要

筆者が干渉計測技術開発に携わってからの20年を振り返り,開発した技術を紹介する．筆者が初めて光干渉計測と出会ったのは1986年のことである．当時, ポリエステルフィルムの微細な表面形状測定技術を調査中に, 位相シフト法による光干渉計測に出会い, その原理の巧妙さと高い実用性に敬服した．これが契機となり, 米国WYKO社, および, アリゾナ大学のWyant教授との長いお付き合いが始まった．その後, 1993年, 筆者が半導体検査機器事業を推進する中で, 磁気ヘッド平坦度自動測定装置を開発·商品化した．