参照平板の横シフトおよび逐次二点法を用いた真直度輪郭測定（第2報）－放物線誤差の補正法に関する比較検討

摘要

真直度輪郭（以下, 輪郭と記す）測定の分野では, 実基準を用いずに幾何学的な基準を構成することにより, 被測定面の形状成分とセンサの直進運動精度とを分離できる二点法やシフト法が提案された．しかし, シフト法は変位計の運動に良好な繰返し性が必要であり, さらにシフト時に生じる傾斜誤差に起因して, 測定結果に放物線状の誤差が生じてしまう問題がある．本研究ではこれらの諸課題対して, 上下2 方向に感度軸を持つ変位計を用いることで運動の繰返し性を不要にし, 水準器を援用することで傾斜誤差に起因する放物線状の誤差を低減する新たなシフト法（以下, 横シフト法と記す）を提案している．本報では, 放物線状誤差を低減させる新たな補正方法を提案し, シミュレーションの結果からその有効性を確認した．