SPring-8 におけるX 線ミラーのための表面形状計測装置LTP(Long trace profiler)の開発

摘要

近年の放射光用ミラー形成技術の進展に対応するため，SPring-8では，ナノメートルオーダの計測再現性と正確さの向上を目指し，LTP の開発を行ってきた．光源，光学系，走査機構，検出器を見直すとともに，設置環境の改善を実施した．その結果，計測時間を約1/4に短縮し，計測再現性を従来の半分に向上した．また，平面ミラーを用いて，別の計測装置による比較検証を行い，長さ150mmで深さ方向に対して0.5nm 以下で計測結果が合致することを確認した．