Verfahren zur hochauflosenden Oberflachenprufung mittels Laser-Lichtschnittmessung

摘要

Die Inspektion von komplexen, gekrummten Prufteilen, wie z.B. Turbinenschaufeln, ist ein noch nicht vollstandig gelostes Problem. Speziell die Prufung der Oberflache auf sehr kleine Defekte im Mikrometerbereich stellt dabei eine grosse Herausforderung dar. Am Fraunhofer Institut fur Integrierte Schaltungen wurde dafur eine schnelle 3D-Pruftechnik konzipiert. Die gewahlte Bildaufnahmetechnik mit Laserlichtschnitt erlaubt sowohl eine schnelle prozessintegrierbare Datenerfassung, als auch den Verzicht auf spezielle Oberflachenpraparationen, wie z.B. Pulverbestaubung. Eine der Zielvorgaben war die sichere Detektion von Oberflachendefekten mit einer minimalen Hohenauslenkung im Bereich von 20 – 30 μm. Bei der Fehlerdetektion sind auch Objekte zu prufen, fur die ein Ansatz mit Meisterstuck aufgrund von zulassigen Abweichungen durch Abnutzung nicht einfach moglich ist. Zur Segmentierung kleinster Fehler auf diesen gekrummten Oberflachen wurde deshalb ein Ansatz gewahlt, der auf Algorithmen zur Approximation von Polynomflachen beruht. Die Arbeiten wurden im Rahmen eines durch LuFo4 geforderten Projektes durchgefuhrt.