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测量表面粗糙度的激光高分辨率传感器的设计

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摘要

文中介绍了一种测量表面粗糙度的高分辨率传感器,该设计应用聚焦探测和光电技术,具有非接触、响应快和性能可靠的特点.

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来源
《仪表技术与传感器》 |2001年第6期|31-32|共2页
作者
黄玲;
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作者单位

南京理工大学制造工程学院南京市 210094;

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正文语种 chi
中图分类自动化元件、部件;
关键词
表面粗糙度; 传感器; 光电元件;

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