MEMS electrostatic; Torsional; Micromirror;
机译:倾斜电极的硅基NiCrAu MEMS扭转微镜的设计与仿真
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机译:MEMS扭转微镜的动态特性与仿真研究
机译:MEMS扭转微镜的设计和仿真
机译:高填充因子,小尺寸MEMS微镜和微镜阵列的开发和应用。
机译:电磁MEMS扭转微镜的动态建模与防扰控制考虑车辆潮羊段外部振动
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机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计