酸化インジウムスズのレーザー誘起熱転写

摘要

フラットパネルディスプレイ·携帯電話·車載機器などの急拡大によって透明電極基板は今後さらなる需要が見込まれる。透明電極の中でも酸化インジウムスズ（ITO：Indium TinOxide）はこれらの製品を支える基礎材料であり、現在最も幅広く用いられている。ITOの回路パターニング手法としては、現在主流であり、よく知られているフォトリソグラフイー·エッチング法がある。この手法では微細な回路パターニングが可能である反面、その工程において大量の現像液やレジスト剥離液が使用され、廃液が環境に負荷をかけるウェットプロセスを要する。