シリコンナノウォールの作製とその形成メカニズム

摘要

厚さがナノメートルオーダーのシリコンナノウォールは，その厚さや構造等の違いで電子の透過特性が大きく変化することが知られている．現在，この特徴を生かし，このウォールを用いた電子や光の挙動を制御する量子デバイスへの応用が検討されている．しかし，その作製方法には高度な技術や複雑な工程を要求するものが多く，汎用的なものはほとhど検討されていない.