異なるCH_4流量でマイクロ波プラズマCVDにより作製した窒化炭素のトライボロジー特性

机译：微波血浆CVD在不同CH_4流速下进行氮化物的摩擦性质

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窒化炭素（C_3N_4）は、LiuとCohenによりダイヤモンドより高い体積弾性率を持つ可能性のある材料として計算予測されて以来、多大な研究が行われている。また、非晶質窒化炭素（CN_x）は、窒素雰囲気中において0.01以下の非常に低い摩擦係数が報告されている。

机译：已经在许多研究中进行了氮化物（C_3N_4），因为该计算预测为可以具有比刘和Cohen的钻石高的体积模量的材料。另外，非晶碳氮化物（CN_x）在氮气氛中具有0.01或更低的非常低的摩擦系数。

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来源
《日本材料科学会学術講演大会》|2012年||共2页
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作者
田中一平; 坂本幸弘;
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中图分类 TB3-532;
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