多結晶シリコン太陽電池における混酸溶液によるテクスチャー形成の評価

摘要

ウェハ内に様々な結晶面方位を持つ多結晶Siでは、アルカリ溶液を用いて面内に均一なテクスチャー形成を行うことができない。そこで、フッ酸、硝酸、酢酸を主体とした混酸溶液を用いたテクスチャー形成が報告されている（反射率の低減は十分でない)。本研究では、テクスチャー構造を形成するためフッ硝硫酸溶液を用いて処理し、評価を行った。