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多結晶シリコン太陽電池における混酸溶液によるテクスチャー形成の評価

机译:混合酸溶液在多晶硅太阳能电池中的纹理形成评价

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摘要

ウェハ内に様々な結晶面方位を持つ多結晶Siでは、アルカリ溶液を用いて面内に均一なテクスチャー形成を行うことができない。そこで、フッ酸、硝酸、酢酸を主体とした混酸溶液を用いたテクスチャー形成が報告されている(反射率の低減は十分でない)。本研究では、テクスチャー構造を形成するためフッ硝硫酸溶液を用いて処理し、評価を行った。
机译:在晶片中具有各种晶平的多晶硅Si中,可以使用碱性溶液在平面中进行均匀的纹理形成。因此,已经报道了使用主要由氢氟酸,硝酸和乙酸组成的混合酸溶液的纹理形成(反射率降低不足)。在该研究中,我们使用荧光硫酸盐溶液治疗和评估以形成纹理结构。

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