反応性バイアススパッタリング法による銀酸化物薄膜の形成

摘要

近年の酸化物半導体材料研究においては、n形およびp形透明酸化物半導体が注目されており、これらの組合せにより、透明薄膜トランジスタ、透明太陽電池などへの応用が検討され、透明酸化物半導体エレクトロニクスへの発展が期待されている。