Photonic crystal; Microstructure fabrication; Optical design and fabrication; Holography;
机译:通过两个光子相位掩模光刻制造的三维硅光子晶体
机译:具有相掩膜的四方和立方光子晶体的设计和全息制造:向三维光子晶体的批量生产迈进
机译:使用衍射光学元件全息制造三维正交和四方光子晶体模板
机译:通过激光相位掩模光刻制造的正交或四方牙齿型光子晶体模板
机译:使用先进的相位掩膜技术对三维光子晶体模板进行激光全息制造
机译:硅内部深处的非线性激光光刻制造的芯片内微结构和光子器件
机译:通过相位掩膜技术形成正交或四方对称的木桩型光子晶体