MEMS switch; contact; reliability;
机译:具有mN接触和恢复力且过程灵敏度低的RF MEMS金属接触开关
机译:RF-MEMS与金 - 铂多层开关的循环可靠性作为接触材料
机译:使用串联触点保护技术扩展RF-MEMS开关的热切换可靠性
机译:RF MEMS开关的金属接触可靠性
机译:高性能RF MEMS金属接触开关和电容开关。
机译:低力下MEMS和NEMS DC开关中接触电阻的不稳定性:外来膜在接触表面上的作用
机译:RF MEMS开关和开关电路:RF MEMS开关的建模以及RF MEMS电容式开关和MEMS可调滤波器的开发