3D profilometry; MEMS; interferometry; microscopy;
机译:显微结构光3D轮廓仪:二进制散焦技术与正弦条纹投影
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机译:基于硅通孔的电容式MEMS传感器3D封装技术研究
机译:使用单个MEMS镜进行3D轮廓测量的掌上相机
机译:mEms光学三维光刻技术的先进技术