reliability; resonant frequency; dynamic testing; modal testing; LDV; doppler; MEMS; fatigue; aging;
机译:改善RF-MEMS的可靠性:具有嵌入式主动自恢复机制的微开关设计的机械方面和实验测试,以抵消静止
机译:使用专门设计的测试设备来确定基于卫星的定位设备的短期和长期动态精度。
机译:O.Tabata和T.Tsuchiya(编):MEMS的可靠性:材料和器件的测试Wiley-VCH,魏因海姆,xx + 303页,110英镑,ISBN 978-3-527-31494-2
机译:用于弹簧质量MEMS器件的动态长期可靠性测试的实验设备和软件设计
机译:设计,制造和测试用于RF MEMS器件的保形,局部晶圆级封装。
机译:非线性振动冲击过程提高接触式MEMS装置可靠性的数值分析
机译:通用测试设备实现各种重复机械变形以评估柔性电子设备的可靠性
机译:用于mEms器件的多晶硅可靠性测试