porous silicon; porosity; pressure sensor; bulk micromachining; young's modulus; membrane; MEMS; piezoresistors;
机译:硅/多孔硅复合膜高灵敏度压力传感器的关键研究
机译:硅/多孔硅复合膜增强了压力传感器的灵敏度
机译:多孔硅/多晶硅可改善灵敏度压力传感器
机译:硅/多孔硅复合膜用于高灵敏度压力传感器
机译:使用多孔硅顺应膜设计硅衬底上的多结太阳能电池
机译:基于图案化碳纳米管/硅橡胶复合材料的可控负电性敏感系数的可拉伸应变传感器
机译:具有微孔和大孔硅的复合si / ps膜压力传感器
机译:用于高灵敏度压力传感器的硅/多孔硅复合膜