silicon carbide; PECVD; residual stress microbridge actuators;
机译:非晶SiC作为基于微桥的RF MEMS开关中的结构层,用于软件定义的无线电
机译:退火非晶SiC单层与非晶Si / SiC多层电致发光的比较研究
机译:扩散至弹道跃迁中非晶态电介质微桥的低温热导
机译:基于MEMS的微桥非晶SiC的开发
机译:开发用于海洋应用的基于MEMS的INS / GPS船舶导航系统。
机译:Fe-Co-B非晶合金制成的具有双层磁芯的宽线性范围和基于MEMS的高灵敏度微磁通门传感器
机译:电子辐照诱导的β-SiC单晶中的无定形转变与照射产生的无定形SiC的结晶