高純度アセチレンを用いた燃焼炎法によるダイヤモンド皮膜合成

摘要

CVD法の一種である燃焼炎法に着目し，大気中の高純度アセチレン-酸素の燃焼炎が安定した 状態でダイヤモンド皮膜の合成を行い，良質でかつ接合強度の高いダイヤモンド皮膜の合成を考 えた.しかし，高純度アセチレンを用いた場合，ダイヤモンドが合成しくいことがわかっている. そこで，ダイヤモンド合成促進成分として窒素に注目し，高純度アセチレン-酸素混合気体に窒 素を流入し，窒素流量を変化させ合成を行った.この際のダイヤモンド皮膜合成の可能性ならび に皮膜のはく離に関する影響等について検討を行った.