マイクロ波プラズマCVDによる窒化炭素の低温合成--マイクロ波出力と合成圧力の影響

摘要

窒化炭素（C_3N_4）は、LiuとCohenによりダイヤモンドと比較して高い体積弾性率を持つ可能性のある材料として計算予測されて以来1）、多大な研究が行われている。単層のβ－C_3N_4およびc-C_3N_4はダイヤモンドを凌ぐ体積弾性率を有し、これに加え化学的安定性および熱伝導性も高いと予測されており、ハードコーティング材料などへの応用が広く考えられている。