Alの異方性アノードエッチングにおける微細トンネルピットの配列制御

摘要

細孔の規則配列が形成されたAl箔は，熱晦射制御デバイスや電解コンデンサの電極材など様々な機能性デバイスへの応用が提案されている．我々はこれまでに，規則的な開口配列を有するポリマーメンプレンをエッチングマスクとしたAlの異方性アノードエッチングによる規則トンネルピット配列の形嵐および，熱編射制御デバイスへの応用に関して報告を行ってきた。本研究では，規則トンネルピット配列の応用範囲の拡大を目的とし，主にタ微細なトンネルピットの形成と高アスペクト比化に関して詳細な検討を行った。