電子線照射を利用したプルシアンブルー粒子のパターニング方法の開発

摘要

電気化学的な酸化還元反応によって物質の光の吸収スペクトルが可逆的に変化する現象が知られており，エレクトロクロミック（EC）現象と呼ばれている。プルシアンブルー（pB）は監＋を含む溶液中で電圧を印加することでK＋が脱挿入し酸化体では青色，還元体では無色と色調が変化するEC材料である。近年，EC材料は表示素子として利用されており，微細な領域でパターニングすることで，より微小な文字や画像の表示が可能になると考えられる。そこで，有機物で修飾したPBナノ粒子に電子線を照射し，有機物を分解することで生じた分解生成物がPB粒子と基板に固着することを利用してPB粒子を基板に固定した。その後，固定していない粒子を除去することでPB粒子をパターニングした。このとき，さまざまな照射電荷量で電子線を照射することで，PB粒子のパターニングやEC特性にあたえる影響を調査した。