水溶液法によるシードフリー基板上への酸化亜鉛層の直接形成とその電気特性

摘要

酸化亜鉛（ZnO）は古くから医療用軟膏·白色顔料,バリスタ（可変抵抗素子），ゴム製造における加硫促進剤などのさまざまな用途に使われている。近年では，その薄膜化による紫外·赤外フィルターや透明導電材料などへの応用が精力的に研究されている。特に，資源的な問題が顕在化しているITO（Snドープ酸化インジウム）の代替材料としての透明導電膜への応用が期待されている。