ポリシラザン塗布膜と光照射を利用した脂環式ポリイミド上への高ガスバリア性付与技術の開発

摘要

近年、柔軟性を有するフレキシブルエレクトロニクスの市場が急速に拡大している。中でも、次世代の電子機器として、軽い、薄い、曲げられるといった特徴を有するフレキシブルデバイスの開発が進hでおり、それの基板材料として有機フイルム基板が使用されている。しかし、有機フイルム基板はガスバリア性に劣るため、ディスプレイの液晶素子や有機EL素子が、空気中の酸素および水蒸気によって劣化してしまうという問題点がある。このため、有機フイルムのガスバリア特性を向上させる技術の開発が強く求められている。有機フイルムは、耐熱性に乏しい為、低温かつ低コストな方法が求められる。本研究では、ポリシラザン塗布膜と光照射を利用した脂環式ポリイミドフイルム上への高ガスバリア性付与技術の開発について検討した。