MEMSプロセスを用いた棚構造の形成及び評価

摘要

自然界には蓮の実の表面構造による撥水性や，モルフォ蝶の鱗粉構造による青色発色など，微細構造を利用した様々な機能が存在する。これらを参考にして多くの産業分野において表面構造による高機能の実現が求められている。モルフォ蝶の鱗粉についてもいくつかの方法で類似形状の作成が試みられており，光学特性を有する棚構造や多層膜構造が報告されている1，2）。本研究ではスパッタリング，ドライエッチング及びウェットエッチングなどのMEMSプロセスを用いて鱗粉にみられる筋構造（リッジ）及び棚構造を形成したので報告する。