Ti-Al合金上ヘ生成したアノード酸化皮膜の構造と誘電特性

摘要

チタニアの比誘電率はアルミナの比誘電率より顕著に高いため，高容量コンデンサの誘電体材料としての適用の可能性が期待される。しかし，チタン（Ti）はアノード酸化時に結晶化し皮膜に欠陥が増加する問題があり，合金化などによって抑制する読みがなされている。一九高圧用アルミニウム（Al）電解コンデンサでは，皮膜を結晶化し多段階化成による欠陥の修復を行う。本研究ではTi-Al合金を試料とし，ホウ酸系電解液を用いてアノード酸化を行い，チタニアを含有した複合酸化皮膜を作製し，その構造と誘電特性を評価した。