りhゴ酸アノード酸化皮膜の生成挙動とナノ構造

摘要

アルミニウムのポーラス型アノード酸化皮膜は、高い規則性を有するナノポーラス酸化物を簡単に作製できる手法として広く知られている。一般的なアノード酸化水溶液として、硫酸、しゆう酸、りh酸およびクロム酸があるが、近年は、それらを用いたアノード酸化に種々改良を加えることや、マロン酸·クエン酸などの新規な酸性水溶液を用いることにより、比較的大きな細孔を有するナノポーラス酸化物を形成できることが明らかになりつつある。そのような水溶液の1つである、りhご酸を用いたアノード酸化の皮膜成長挙動を検討することは、ナノポーラス構造を各種ナノ·サブミクロンデバイスに応用する観点から大変興味深い。　本研究においては、アルミニウムをりhご酸水溶液中に浸漬してアノード酸化したさいの、ポーラス型酸化皮膜の成長挙動を詳細に検討した。