斜め堆積スパッタリング法による窒化スズ薄膜の作製と微細構造制御

摘要

窒素は大気の80％を占める気体であるが，化学的に非常に安定なため，天然に窒化物として産出する金属元素は存在しない．近年，多くの金属元素において窒化物が合成。研究され，一部は実用化されている．一方で，スズの窒化物については，研究が盛hに行われているとは言えず，解明されていない部分が多い．これまで，反応性マグネトロンスパッタリングによって窒化スズ薄膜が合成でき，堆積時の基板温度によって，スピネル型Sn_3N_4と閃亜鉛鉱型SnNの結晶相が生成することが報告されている．しかし，他の堆積条件の影響については調査されていない．そこで本研究では，基板温度以外の堆積条件に着目し，スパッタリング成膜プロセスに斜め堆積法を適用することによって，窒化スズ薄膜の微細構造制御を行い，結晶構造などの基本的特性と微細構造との相関を明らかにすることを目的とする．