表面波プラズマCVD法によるナノ結晶ダイヤモンド膜の熱伝導特性

摘要

ダイヤモンドは最も硬い材料であり、高い熱伝導率、電気絶縁性を兼ね備えた材料であることから、将来の伝熱材料として注目されてきた。しかしながら、デバイス形成としては高い成膜温度、低い表面平坦性、大面積成膜の難しさ、生産コストの高さなどから、実用化されていない。我々はこれまでに低電子温度かつ高密度な表面波プラズマを利用することにより、結晶子サイズがナノレベルのナノ結晶ダイヤモンド薄膜の合成に成功しているが、測定の難しさから熱伝導率の測定には至っていない。本研究では、ナノ結晶ダイヤモンド膜を用いた放熱。伝熱基板を開発することを最終目標とし、ナノ結晶ダイヤモンド膜の熱伝導性について評価検討した。