MEMS; micromirrors; scene generation; actuators; electrostatics; curled films;
机译:低压三轴电磁致动微镜,用于光学器件之间的精细对准
机译:基于分叉的静电微镜稳定性分析作为两种自由度系统
机译:基于分叉的静电微镜稳定性分析作为两种自由度系统
机译:静电人工眼睑致动器作为模拟微镜设备
机译:静电致动MEMS微镜用于光检测和测距的设计与建模
机译:静电驱动MEMS器件的稳定性非线性和可靠性
机译:一种低压三轴电磁驱动微镜,用于光学器件之间的精确对准
机译:静电驱动双晶片微镜的分段控制。