机译:Langmuir探针与光发射光谱在可变磁场电子回旋共振化学气相沉积过程中的比较和综合研究,该过程用于沉积氢化非晶硅薄膜
机译:电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积制备掺Er氢化非晶硅中Er3 +的去激发机理
机译:Ar / H_2比对电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备掺磷氢化纳米晶硅薄膜特性的影响
机译:用电子回旋谐振等离子体化学气相沉积制备氢化非晶碳化硅膜微观结构和光学性能的影响
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:脉冲等离子体化学气相沉积法制备纳米多孔非晶碳化硼薄膜的摩擦学和热稳定性研究
机译:偏压对电子回旋共振等离子体在CoCrMo合金上制备的氢化非晶碳膜性能的影响增强了化学气相沉积(ECR-PECVD)
机译:电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积法研究氮等离子体不稳定性及氮化硅的生长