MEMS Mirror Arrays for Adaptive Optics Applications

机译：用于自适应光学应用程序的MEMS镜像阵列

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A high fill-factor 61-element array containing 0.5 mm hexagonal mirrors that tip, tilt and piston with a 27 mum stroke has been fabricated in SUMMiT Vtrade technology. Design, fabrication and performance will be discussed

机译：在峰会VTRADE技术中制造了一种具有0.5mm六边形镜的高填充因子61元件阵列，其中具有27毫米行程的尖端，倾斜和活塞。将讨论设计，制作和性能

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来源
《IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications Conference》|2006年||共2页
会议地点
作者
Spahn O.B.; Cowan W.D.; Dagel D.J.; Resnick P.J.; Jokiel B.; Grossetette G.D.;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类自动化技术、计算机技术;
关键词
micromechanical devices; micromirrors; optical arrays; optical design techniques; optical fabrication; 0.5 mm; 61-element array; MEMS mirror arrays; SUMMiT Vtrade technology; adaptive optics; mirror fabrication; optical design;

机译：微机械装置;微镜;光学阵列;光学设计技术;光学制造;0.5毫米;61元元阵;MEMS镜子阵列;峰会VTRADE技术;自适应光学;镜子制作;光学设计;光学设计;光学设计;

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