電流検出型熱電対を用いた薄膜ピラニ真空センサの提案

摘要

本研究室で開発した高感度な温度差センサである電流検出型熱電対を用いて測定し、その結果、10~5pa－10~(-2) Paで測定可能な特性が得られたので報告する。