微細構造上でのエレクトロウェッティングとそのマイクロフルーイディック素子への応用

摘要

本研究では、電極の濡れ性を制御するエレクトロウェッティングを利用した、より効率的な送液システムの実現を目的とし、電極をマイクロピラー構造上に形成することにより、エレクトロウェッティングの効果を増幅させることを試みた。また、このマイクロピラー電極を有するマイクロポンプとバルブを形成した送液システムをそれぞれ作製し、特性を評価した。