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薄膜型マイクロ熱電発電モジュールの設計と作製

机译:薄膜型微型热电发电模块的设计与制作

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摘要

本研究では,熱電素子を小型化し,薄膜形状を基本とするin-plane型熱電デバイスで携帯機器への適用を狙った薄膜型マイクロ熱電発電モジュールの開発を目指し,薄膜熱電素子とその基板の設計,室温で発電効率の良い熱電材料Bi_2Te_3を用いて作製し,その性能を評価した.
机译:在该研究中,薄膜热电元件及其基板设计旨在开发薄膜微热 - 热电发电模块,其基于薄膜形状并基于薄膜形状,并旨在开发薄膜型热电发电模块。,产生具有在室温下发电效率的热电材料Bi_2Te_3,评价性能。

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