低窒素濃度Ti-Mo-N膜の摩耗特性に及ぼす熱処理の影響

摘要

既存のTiN系コーティング膜は摩擦係数が高く耐摩耗性に課題を残している。我々はこれまでMoを添加したTi－Mo－N膜に着目し、bcc相をマトリクスとする低窒素濃度の膜においても熱処理により高硬度が得られることを見出した［1］。一方で摩擦·摩耗特性の評価は未だ不十分である。そこで本研究では低窒素濃度のTi－Mo－N膜の摩耗特性に及ぼす熱処理の影響を調査することを目的とした。