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一种具有Ti-Mo-N多元表面薄膜的切削工具

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摘要

一种具有高性能Ti-Mo-N多元表面薄膜的切削工具，其是采用磁控溅射的方法在切削工具表面制备Ti-Mo-N三元薄膜，主要通过优化多元薄膜的制备工艺参数，以及薄膜的热处理工艺参数，从而获得一种具有高性能Ti-Mo-N三元薄膜的切削工具，与Ti-N二元薄膜相比，成膜后切削工具试样外观表面平整光滑，致密性好，经测试，经热处理后薄膜表面的元素的原子百分含量为30.5Ti-28.3Mo-41.2N，薄膜表面的硬度为35GPa，800℃条件下的氧化增重仅为Ti-N薄膜的一半。

著录项

  • 公开/公告号CN102409307B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-10-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 宁波市瑞通新材料科技有限公司;

    申请/专利号CN201110307388.6

  • 发明设计人 韩晓芬;

    申请日2011-10-11

  • 分类号C23C14/35(20060101);C23C14/06(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 315177 浙江省宁波市鄞州区古林镇葑水港村

  • 入库时间 2022-08-23 09:16:35

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-12-17

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C14/35 收件人:徐波 文件名称:手续合格通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2014-12-17

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C 14/35 收件人:徐波 文件名称:手续合格通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2014-12-03

    专利权的转移 IPC(主分类):C23C14/35 变更前: 变更后: 登记生效日:20141114 申请日:20111011

    专利申请权、专利权的转移

  • 2014-12-03

    专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 变更前: 变更后: 登记生效日:20141114 申请日:20111011

    专利申请权、专利权的转移

  • 2013-10-16

    授权

    授权

  • 2013-10-16

    授权

    授权

  • 2013-09-11

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C14/35 收件人:宁波市瑞通新材料科技有限公司 文件名称:办理登记手续通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2013-09-11

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C 14/35 收件人:宁波市瑞通新材料科技有限公司 文件名称:办理登记手续通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2013-07-17

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C14/35 收件人:徐波 文件名称:审查意见通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2013-07-17

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C 14/35 收件人:徐波 文件名称:审查意见通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2013-04-10

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C14/35 收件人:宁波市瑞通新材料科技有限公司 文件名称:第一次审查意见通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2013-04-10

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C 14/35 收件人:宁波市瑞通新材料科技有限公司 文件名称:第一次审查意见通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2012-07-18

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C14/35 收件人:宁波市瑞通新材料科技有限公司 徐波 文件名称:发明专利申请进入实质审查阶段通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2012-07-18

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C 14/35 收件人:宁波市瑞通新材料科技有限公司|徐波 文件名称:发明专利申请进入实质审查阶段通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2012-06-27

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C14/35 收件人:宁波市瑞通新材料科技有限公司 文件名称:发明专利申请公布通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2012-06-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20111011

    实质审查的生效

  • 2012-06-27

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C 14/35 收件人:宁波市瑞通新材料科技有限公司 文件名称:发明专利申请公布通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2012-06-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20111011

    实质审查的生效

  • 2012-04-11

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C14/35 收件人:宁波市瑞通新材料科技有限公司 文件名称:发明专利申请初步审查合格通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2012-04-11

    公开

    公开

  • 2012-04-11

    文件的公告送达 IPC(主分类):C23C 14/35 收件人:宁波市瑞通新材料科技有限公司 文件名称:发明专利申请初步审查合格通知书 申请日:20111011

    文件的公告送达

  • 2012-04-11

    公开

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