ADIP法によりSUS304基板に成膜したセラミック薄膜の赤外線反射特性

摘要

赤外線は金属以外の物体に吸収されやすく、それらを効率的に加熱する作用がある。この特性を有効に利　用するための赤外線反射材料としてPtやAuが用いられているが、消耗品としては高価である。本研究では、アー　ク放電式イオンプレーティング装置を用いてSUS304基板上にAl_2O_3，、ZrO_2、TiO_2、TiN/Tiを成膜し、その赤外線反射率を評価した。