スパッタリング法により作製した酸化チタン薄膜の光電気化学特性と光触媒活性

摘要

酸化物半導体である酸化チタン（TlO_2）は光触媒材料としてよく利用されているが、スパッタリ　ング法により作製したTiO_2薄膜の光触媒活性は、その成膜条件に大きく左右されることがわかってい　る。本研究では、スパッタリング法によって異なる成膜圧力下にて作製したTiO_2薄膜の光電気化学特性を調査し、その光触媒活性との関係を検討した。