机译:表面粗糙度对RF-MEMS电容开关的机电性能的影响
机译:纳米结构氮化硅电学性能的比较研究,有望在RF-MEMS电容开关中应用
机译:基于BEOL BiCMOS工艺的电容式RF-MEMS开关的故障分析和检测方法
机译:流体 - 静电 - 机械建模RF-MEMS电容开关的动态响应
机译:RF MEMS电容开关的高电流密度效应与功率处理能力的有限元模型
机译:可向低压和快速响应的RF-MEMS开关横向移动的三电极驱动器
机译:基于宏模型的粘滞阻尼RF-MEMS开关动态引入的仿真和测量
机译:射频mEms电容开关介质充电效应的建模与表征