MEMS; Fabry-perot tunable filter; membrane structure; simulation; finite element analysis;
机译:集成光栅和可调法布里-珀罗腔的基于MEMS的微滤波器设计
机译:用于可调谐MEMS Fabry-Perot光学滤波器的PECVD氮化硅薄膜的机械性能的确定
机译:基于MEMS的滤波器集成可调式法布里 - 珀罗腔和光栅
机译:MEMS法布里-珀罗可调滤波器的动膜设计仿真与比较
机译:在长波长红外区域中基于MEMS的可调谐法布里 - 珀罗干涉仪滤波器的设计,仿真,制造和表征
机译:利用电磁力为远红外波长设计的可调法布里-珀罗干涉仪
机译:使用基于MEMS的可调Fabry-Perot滤波器同时进行波长和轨道角动量解复用
机译:大孔径mOEms法布里 - 珀罗可调谐滤波器的电子力学模拟