UHV/CVD; low temperature; Si epitaxy; dopant profile; SiGe; HBT;
机译:使用低温CVD外延和化学机械抛光的SiGeHBT基极-集电极体系结构
机译:使用冷壁UHV / CVD制备的SiGe-HBT的工艺设计
机译:提取在低温下运行的UHV / CVD SiGe HBT的集电极基极电阻
机译:用于SiGe HBT的UHV / CVD低温Si外延
机译:SiGe HBT的功率衍生热表征和使用锁相环的定时电路设计。
机译:SiGe HBT局部应力过程中Au / Pt / Ti-Si3N4界面缺陷和反应的STEM纳米分析
机译:在块状单晶SiGe和Si衬底上的UHV / CVD SiGe外延层的生长和表征