薄膜金属ガラスを用いたマイクロ構造体の内部応力制御

摘要

磁歪材料とは，磁場を印加することによりひずみ変形を生じる材料のことである．磁歪材料の特徴として，応答性が速い，非接触動作が可能，大出力といった点が挙げられる．また，磁歪材料に外力を加える事で磁気特性が変化する逆磁歪効果が確認されている．これらを応用してセンサを開発するためには，大きな磁歪量と高い透磁率をもつ磁歪材料が必要である．このような目的の特性をもつ材料の探索を効率的に行うために，コンビナトリアル手法を適用する．コンビナトリアル手法では異なる条件のサンプルを一度に集積して製作し，ライブラリを評価するため，材料の探索効率を高めることができる．