フレキシブルサーミスタ用（AlTi）N薄膜／ポリイミドフィルム界面の密着強度評価－（AlTi）N薄膜/ポリイミドフィルム界面密着機構の検討

摘要

NaCl型の（TiAl）N薄膜は超硬工具のコーティング材料としてよく知られるが、一方で、ウルツ鉱型の（AlTi）N結晶化薄膜はNTCサーミスタ特性を持ち、これをポリイミドフィルム上に形成した薄型サーミスタセンサを開発した新規応用事例もある。しかし、ポリイミドフィルム上に形成された（AITi）N薄膜の密着強度については、新規構造ゆえに未だ十分な知見が得られていない。