超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発（第6報：XYステージへの応用）

摘要

本報では，空気圧サーボ軸受アクチュエータを用いた超精密XYステージの開発·試作を目的とする。はじめに，XYステージに組み込むための2連型球面軸受アクチュエータの作動特性を確認した。次に，それらを組み込hで製作した超精密XYステージの位置決め性能を調べることとした。